半導体デバイス用全自動光学検査装置を共同開発　南陽

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週刊経済2021年6月22日発行

６月から販売開始

福岡市博多区博多駅前３丁目の機械商社・㈱南陽（武内英一郎社長）は、光学機械メーカーの㈱清和光学製作所（東京都中野区弥生町４丁目、岡崎伊佐央社長）と半導体デバイス用の全自動光学検査装置を共同開発し、６月から販売を開始した。
半導体デバイスの高機能化、微細化に伴い、検査ニーズが多種多様化したなかで、省力化、省人化を目的に開発したもので、開発した装置は３種類。スタンダート仕様の「ＳＲＶ‐３００」は半導体ウェハーを自動で欠陥レビューする装置で、価格は１億３千万円（税別）。３Ｄ計測仕様の「ＳＲＶ‐３００ＺＰＭ」はレビュー機能に加えて白色干渉で３次元計測の組み合わせを可能とした装置で、価格は１億５千万円（同）。さらに「ＳＩＲ-３００」では赤外光でウェハー内部と貼り合わせウェハーの表裏パターンズレ検査を可能としている。価格は１億３千万円（同）。従来の目視検査などの検査工程を自動化でき、ＳＥＭレビュー検査装置に比べ、安価で高速、他検査モジュールとの組み合わせや複数装置にまたがる検査工数の削減、全数検査で半導体ウェハーの品質安定化を図れるという。同社では３年後の年間売上高目標を１０億円に置いている。